A trietilklórszilán (TECS), a C6H15ClSi kémiailag meghatározott összegképpel rendelkező szilánvegyület, színtelen folyadék, amelyet gyakran használnak különböző ipari alkalmazásokban. Ezt a vegyületet különösen azért tartják értékesnek, mert képes szilíciumot bevezetni szerves molekulákba, így elengedhetetlen reagensszé válik a szilikonpolimerek és más szilícium-alapú anyagok előállításában. Sokoldalúsága reakcióképességéből származik.